碳酰氟(CF2O)
產品說明


碳酰氟，又名氟光氣，是一種含氟、非易燃、有毒氣體，化學式為CF2O，主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣，也可用作有機合成的中間體、氟化劑。


 


技術指標


組成


單位


指標


碳酰氟(CF2O)


wt%


≥99.0


三氟乙酰氟


wt%


≤0.5


其他


wt%


≤0.5


 


理化指標


檢測項目


單位


指標


化學名稱


/


三氟乙酰氟


CAS


/


353-50-4


分子式


/


CF2O


結構式


/






分子量


g/mol


66.01


沸點(1atm)


℃


-84


臨界溫度


℃


22.8


液體密度


g/ml


1.14


 


包裝方式


本產品充裝在鋼瓶或運輸槽罐中，鋼瓶包裝規格1000 kg/1000 L，鋼瓶充裝系數0.5 kg/L；鋼瓶或運輸槽罐外附有標簽、合格證，注明牌號、商標、批號。


 


注意事項


1.產品儲存時要遠離火源、熱源，防止超壓；儲存場所必須有良好的通風裝置。
2.高溫天氣，要對露天存放的鋼瓶進行防曬降溫措施，防止超壓。
3.本品按危險品運輸，運輸過程中應避免受熱或劇烈震動。